Komponenten

Modularer Aufbau Sputtersystem für optische Filter

Mit der Opta X bringt das Unternehmen Von Ardenne eine neu entwickelte Drehteller-Sputteranlage für die Abscheidung interferenzoptischer Filterschichten hoher Präzision auf den Markt. Das System ist laut Hersteller eine flexible Plattformlösung für die speziellen Anforderungen der Präzisionsoptik. Sowohl auf ebenen als auch gekrümmten Oberflächen können mit der Anlage defektarme Beschichtungen und komplexe Schichtdesigns mit mehreren 100 Einzelschichten bis 70 mm Bauteilhöhe realisiert werden. Präzision und Uniformität der Beschichtung stehen hier im Vordergrund. Die Prozessführung ist variabel, Beschichtungen können beispielsweise metallisch, reaktiv oder im Meta-Mode erfolgen.

Die Sputteranlage ergänzt die Produktpalette des Unternehmens für Applikationen hochpräziser Optiken hin zu kleineren Flächen mit maximal 200 bis 300 mm Beschichtungsbreite.

von mg

www.vonardenne.biz

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