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Hohe Wiederholgenauigkeit Scantisch zum Abrastern sehr großer Wafer

Der Scantisch KT600-edlm von Steinmeyer Mechatronik bietet in geschlossener Variante erhöhte Verfahrwege und optimierte Ablaufwerte. Mit seinem Hub von 450 mm gestattet der KT600-edlm auch das Abrastern sehr großer Wafer und Substrate in X- und Y-Richtung.

Der Kreuztisch besitzt hohe Wiederholgenauigkeit in Geradheit, Ebenheit und Positionierung von ± 0,25 µm und bietet laut Hersteller damit die Grundlage für hochgenaue Messaufbauten. Um dies zu erreichen, wurden bei der Konstruktion polierte Kreuzrollenführungen und eisenlose Linearmotoren verwendet. Der eisenlose Motor ermöglicht einen feinfühligen Antrieb ohne störenden Einfluss auf die Ablaufparameter. Gleichzeitig sorgt der Linearantrieb für eine hohe Dynamik. Die erreichbaren Beschleunigungen von bis zu 5 m/s2 und Spitzengeschwindigkeiten von 330 mm/s prädestinieren das Positioniersystem für schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten.

Da die Motoren in X- und Y-Richtung auf unterschiedliche bewegte Massen abgestimmt sind, ergibt sich ein homogenes Verhalten. Der Scantisch verhält sich also in beiden Achsen gleich. Um maximale Beschleunigungen zu erzielen und damit noch schneller scannen zu können, lassen sich beide Achsen des KT600-edlm auch gleich motorisieren. Typische Einsatzbereiche des neuen Scantisches sind die Halbleiterinspektion, Messanlagen,

von mn

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