Fertigungstechnik Replizierbare Mikrostrukturen mittels 2-Photonen-Lithographie

Anforderungen an innovative optische Elemente übertragen sich direkt auf die Fertigungsverfahren. Hohe Aspektverhältnisse, Asymmetrien und Arrays aus zufällig angeordneten Grundbausteinen stellen Hürden dar, die mit etablierten Fertigungsverfahren nicht zu überwinden sind. Abhilfe bietet hier die Zwei-Photonen-Lithographie.