Technologie & Applikation

Komponenten Objektivpositionierung weiter gedacht

Hochdynamische Fokussieraufgaben verlangen ein ausgeklügeltes Design der Positioniersysteme. Mit einer neuen Methode – dem Positionsregeln – lassen sich Verfahrzeiten unter 10 ms für Schrittweiten von 10 nm bis 100 µm erreichen, um sehr präzise zu positionieren.

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