Technologie & Applikation

Messtechnik Nanopositionierung – geht das?

Derzeit sind kleinste Positionierer auf dem Markt und all zu oft wird dabei von atemberaubend hohen Auflösungen gesprochen. Doch was steckt dahinter? Wärme, Drift, Hysterese, Spiel und Rauschen sorgen für Ungenauigkeiten, wordurch Angaben zur höchsten Auflösung doch schnell relativ sind. Entscheidend ist die Wiederholgenauigkeit (Präzision), also ob der Schlitten auch seine Position erreicht hat, die der Sensor angibt. So werden aus 1 nm Auflösung schnell über 100 nm oder – wenn der Tisch sich erwärmt – sogar über 1000 nm. Von Nanopositionierung ist dann nicht mehr viel übrig, obwohl die Auflösung immer noch stimmt.

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