Messtechnik

Focal Spot Analyzer Misst Fokus und Leistung in Echtzeit

Der Ophir Focal Spot Analyzer von MKS Instruments überwacht den Laserstrahl eines High-Power-Lasers in Echtzeit. Das Gerät misst den Durchmesser des Laserstrahls im Fokus bis hinunter auf 35 µm und die Laserleistung von kleiner 1 bis 400 W bei Wellenlängen zwischen 266 und 1100 nm. Es misst die Leistungsverteilung im Fokus sowie Verschiebungen der Fokuslage und liefert darüber hinaus die Lage und Ausprägung der Laserkaustik. Die Präzision der Messungen zeigt sich auch darin, dass die Entfernung des Kamera-Arrays NIST-rückführbar ist.

Der Focal Spot Analyzer beinhaltet eine hochauflösende Kamera – entweder die SP928 CCD Strahlprofil-Kamera oder die großformatige LT665 Kamera, einen LBS-300 Strahlabschwächer mit zwei Strahlteilern für die polarisationsneutrale Abschwächung, die BeamGage Strahlprofilsoftware und ein Kalibrierzertifikat. Der LBS-300 Strahlabschwächer ermöglicht es, die Ausgangsleistung des Laserstrahls abzuschwächen, der die Kamera erreicht. Es werden jeweils über 99 % des Strahls pro Abschwächer transmittiert, während 0,01 % zur Kamera weitergeleitet werden. Der Strahlteiler selbst beeinflusst die Polarisation nicht, sondern behält die Polarisationskomponenten des ursprünglichen Strahls bei.

Anwendungen liegen in der Fertigung von medizinischen Produkten oder dem Mikroschweißen, die einen Brennfleck mit klar abgegrenztem, schmalen, und reproduzierbarem Prozessfenster für das Intensitätsprofil benötigen.

von mg

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