Fertigungstechnik

Maskenlose Mikrofabrikation von diffraktiven und refraktiven Optiken

Für mikrooptische Bauteile sind innovative Mikrofabrikationskonzepte gefragt. Eine zukunftsweisende Technologie zur direkten Herstellung optischer Nano- und Mikrostrukturen basiert auf einem maskenlosen Lithografiesystem und erlaubt eine extrem genaue additive Fertigung.

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