Komponenten -

Kontrolliert kippen: Silizium-Mikrospiegel mit integriertem optischen Feedback

Einige Anwendungen von Kippspiegeln stellen hohe Anforderungen an die Einstellgenauigkeit des Kippwinkels, etwa Schaltmatrizen in der optischen Telekommunikationstechnik. Eine integrierte optische Rückkopplung ermöglicht die adaptive und automatische Einstellung und Echtzeit-Korrektur des Kippwinkels sowie die softwareseitige Korrektur der Langzeitdrift des mikromechanischen Systems. Das vorgestellte Prinzip lässt sich in verschiedenste, auch bereits bestehende Mikrospiegeldesigns implementieren und erspart in Array-Anwendungen zudem die Kalibration aller einzelnen Mikrospiegelelemente.

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