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Fassungstechnologie für DUV-Optiken

Das zum Patent angemeldete Verfahren ist klebstofffrei und wurde speziell für DUV-Optiken mit hoher numerischer Apertur entwickelt. Die Technologie reduziert spannungsinduzierte Doppelbrechung und erhöht die Stabilität der optischen Komponenten auch unter anspruchsvollen Einsatzbedingungen. Zusätzlich wird ein neues Kompensatorkonzept eingesetzt, das die Positionierung optischer Elemente senkrecht zur optischen Achse mit einer Genauigkeit < 10 nm über einen Bereich von ca. 300 µm ermöglicht. Typische Anwendungsfelder sind optische Strahlführungs- und Beleuchtungssysteme in der Halbleiterausrüstungs- und Flat-Panel-Display-Industrie für die Mikromaterialbearbeitung. Die Technologie kann für verschiedene optische Werkstoffe wie Kalzium-Fluorid und Quarzglas adaptiert und in Materialien wie Edelstahl, Aluminium und Bronze ausgeführt werden.

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