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Deutscher Zukunftspreis 2020

Ein Team von Zeiss, Trumpf und dem Fraunhofer IOF ist für seine Arbeit in der EUV-Lithografie für die Auszeichnung nominiert.

Das Bundespräsidialamt gab am 9. September im Ehrensaal des Deutschen Museums in München die Nominierten für den Deutschen Zukunftspreis 2020 bekannt. Im Kreis der Besten – den drei Projekten für die Endrunde des Preises des Bundespräsidenten für Technik und Innovation – ist ein Expertenteam von Trumpf, Zeiss und dem Fraunhofer IOF: Mit ihrem Projekt ‚EUV-Lithographie – Neues Licht für das digitale Zeitalter‘ sind Dr. Peter Kürz, Zeiss-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT), Dr. Michael Kösters, Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing und Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF in Jena, nominiert.

Leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Chips

Weltweit einziger Hersteller für EUV (extrem Ultraviolett) -Lithographie-Maschinen ist die niederländische Firma ASML, die als Integrator die Architektur des Gesamtsystems und insbesondere die EUV-Quelle entworfen hat. Schlüsselkomponenten dieser Maschinen sind der Hochleistungslaser von Trumpf für die EUV-Lichtquelle und das optische System von Zeiss. Mit dieser Technologie lassen sich weitaus leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen als jemals zuvor. Das Fertigungsverfahren für die neuesten Chip-Generationen fußt auf der Nutzung von EUV-Licht, die bisherige Grenzen des technisch Machbaren überwindet. Von der Lichtquelle über das optische System im Vakuum bis zur Oberflächenbeschichtung der dabei eingesetzten Spiegel musste die gesamte Belichtungstechnologie von Grund auf neu entwickelt werden. Die drei Nominierten haben einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie geleistet. Das Resultat ist durch über 2000 Patente abgesichert.

Der Deutsche Zukunftspreis wird seit 1997 jährlich vergeben und gehört zu den wichtigsten Wissenschaftsauszeichnungen in Deutschland. Er ehrt herausragende technische, ingenieur- und naturwissenschaftliche Leistungen, die zu anwendungsreifen Produkten führen. Die Jury wählt in einem mehrstufigen Prozess aus einer Vielzahl an Projekten jedes Jahr drei Forscherteams und ihre Innovation in die Endrunde des Preises. Neben der Innovationsleistung bewertet die Jury dabei auch das wirtschaftliche und gesellschaftliche Potenzial der Entwicklung. Der Preis wird vom Bundespräsidenten Frank-Walter Steinmeier am 25. November 2020 in Berlin verliehen.

von mg

www.iof.fraunhofer.de

www.zeiss.de

www.trumpf.com

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