Technologie & Applikation

Fertigungstechnik Bearbeitung von Diamantoptiken für Hochleistungslaser

In der EUV-Lithographie ist eine der Hauptkomponenten die Lichtquelle, die benötigt wird, um extrem kleine Halbleiterstrukturen herzustellen. Diese Lichtquelle wird mit einem Hochleistungslaser gepumpt, bei dem die Auskopplungsoptiken extremen Leistungsdichten standhalten müssen. Hierfür weist synthetischer CVD-Diamant entscheidende Vorteile auf.  Neue Herstellungsmethoden in der Diamantbearbeitung ermöglichen Optiken für immer höhere Leistungsdichten.

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