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Komponenten Amorphe Silizium-Schicht ermöglicht ultrapräzise Spiegel

Spektral breitbandige Hochleistungs-Spiegel mit hervorragenden optischen, thermischen und mechanischen Eigenschaften lassen sich durch Ultrapräzisions-Diamantdrehen und nachfolgendes Polieren herstellen. Der Polierschritt ist in ausreichender Qualität nur durch Aufbringen einer polierbaren Beschichtung möglich. In diesem Beitrag wird hierzu ein neuartiges Technologiekonzept auf Basis amorpher Silizium-Schichten vorgestellt.

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