Optical Spectroscopy

Reflektometer misst Dicke transparenter Schichten

16.02.2012

ST2080 ist ein neues spektroskopisches Reflektometer zur Dickenmessung transparenter Schichten zwischen 35 nm und 3 µm, insbesondere von OSP-Schichten (Organic Surface Protection) auf rauen Oberflächen wie Kupferleiterbahnen. Die minimale Spotgröße liegt mit einem 5-fach Objektiv bei 1,35 µm oder mit dem 50-fach Objektiv bei 135 nm. Die durchschnittliche Schichtdicke sowie ein detailliertes 3D-Oberflächenprofil werden durch simultanes Messen vieler Spots in einem 135 nm großen Messfleck erreicht. Das System wurde von Polytec‘s koreanischem Partnerunternehmen K-MAC entwickelt.

Photonik 1/2012
Company: Polytec GmbH

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