Coatings

Beschichtung für Excimerlaser-Optiken

11.04.2006

ExciLife-193 ist eine hochfeste Beschichtung für OEM-Laseroptiken. Bei 193 nm und einem Einfallswinkel von 45° bieten sie >97% Reflektivität. In Bezug auf Adhäsion, Abrasion und Feuchtigkeit erfüllen sie die MIL-SPEC- Anforderungen. In Versuchen zur Lebensdauer wurden sie mit 300 mJ/cm2 bei 100 und 200 Hz für 2 Mio. Pulse getestet, ohne beschädigt zu werden oder in der Reflektivität zu variieren. Für Anwendungen in der Immersions-Lithographie wurde die Beschichtung in DI-Wasser mit >500 mJ/cm2 und 100 Hz getestet und überstand 100 000 Pulse ohne Schaden. Die Beschichtung kann für Einfallswinkel zwischen 0 und 45° optimiert werden

Photonik 2/2006
Company: Acton Research Corporation

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