Coatings

Hoch belastbare UV-Antireflektionsbeschichtung

15.02.2005

Die neu entwickelte AR-Beschichtung für den Wellenlängenbereich 193-213 nm bietet eine lange Lebensdauer bei Belastungen bis 2,5 J/cm2. Prozesse in der Halbleiterindustrie können mit dieser Leistungsverbesserung der Beschichtung signifikant optimiert werden, so dass der Hersteller sie als Standard bei all seinen transmissiven Optiken für DUV-Anwendungen einsetzen wird. Die neue Beschichtung mit hoher Zerstörschwelle kann auf Silizium, Magnesiumfluorid, Kalziumfluorid und kristallines Quarz aufgebracht werden.

Photonik 1/2005
Company: CVI Laser, LLC

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