Positionierung und Bausysteme

Mini-Hexapod mit großem Stellweg

06.07.2012

Der Miniatur-Hexapod H-811 mit 130 mm Durchmesser und 115 mm Höhe ist zusätzlich zur Vakuumausführung jetzt auch als Luftvariante verfügbar. Er erreicht Stellwege bis 35 mm in XY und bis 13 mm in Z-Richtung sowie Kippwinkel von 20° um X- und Y-Achse und bis 40° um die Senkrechte. Bei Geschwindigkeiten bis 10 mm/s können Lasten bis 5 kg positioniert werden. Die lineare Auflösung eines Einzelbeins liegt bei 40 nm, Positionen werden mit Genauigkeiten <1 µm wiederholbar angefahren. Wahlweise gibt es dazu ein neues Kompakt-Steuergerät oder den bisherigen 19-Zoll-Rack-Einschub. Ein Vorteil parallelkinematischer 6D-Systeme gegenüber gestapelten Mehrachspositionierern ist die geringe bewegte Masse, da alle sechs Aktoren auf eine gemeinsame Plattform wirken. Außerdem können sich keine Führungs- und Kippfehler einzelner Achsen aufsummieren.

Photonik 4/2012
Firma: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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