Mikroskopie

Hardware Laser-Autofokus-Systeme für die Material-Mikroskopie

15.10.2009 - Photonik 5/2009

Die genaue und schnelle Fokussierung von Proben über einen weiten XY Verfahrweg ist ein zentrales Problem in der industriellen Mikroskopie, z.B. bei der Inspektion von Wafern, Schleifproben oder anderen Präparaten. Neben der prinzipiellen Problematik der Autofokussierung werden hier Vor- und Nachteile von Soft- und Hardwarefokuseinrichtungen gegenübergestellt und das Prinzip eines neuentwickelten Hardware-Laserautofokus wird anhand eines Beispiels verdeutlicht.

Photonik 5/2009
Autor(en): Christopher Steele, Prior Scientific Instruments Ltd., GB, Thomas Freda, Prior Scientific Instru. Inc., USA, Holger Ruchatz, Prior Scientific Instru. GmbH, Jena

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