Lasertechnik

Strahlprofilmessung an Hochleistungs-Kurzpuls-Lasern bei geringem Arbeitsabstand

19.10.2010 - Photonik 5/2010

Die Lasermaterialbearbeitung ist ein etablierter Prozess zur Herstellung von z.B. Halbleiterbauelementen, Solarmodulen, LEDs oder Diplays. Im Folgenden wird beschrieben, wie die Messung des Laserstrahlprofils bei kleinen Arbeitsabständen dazu beitragen kann, die Mikromaterialbearbeitung mit ns-Laserpulsen zu optimieren.

Photonik 5/2010
Autor(en): Anatoly Sotnikov, Bernd Stritzker, Universität Augsburg
Manfred Hettwer, Metrolux GmbH, Göttingen

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