Lasertechnik

Interferometrische Profilmessung in der laserchemischen Mikromaterialbearbeitung

16.08.2010 - Photonik 4/2010

Laserchemische Abtragsverfahren erlauben eine materialschonende Bearbeitung und ermöglichen die Fertigung technischer Oberflächen mit geringer Oberflächenrauheit. Zur geregelt-skalierbaren laserchemischen Fertigung konturierter Mikrostrukturen mit hoher Präzision ist eine In-Prozess-Messetchnik unverzichtbar. Optische Messverfahren bieten hierbei neben weiteren Vorteilen eine hohe Auflösung.

Photonik 4/2010
Autor(en): Christoph Gerhard, Frank Vollertsen
BIAS–Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH

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