Fertigungstechnik

Replikation diffraktiver optischer Elemente aus synthetischem Quarzglas nach dem Sol-Gel-Verfahren

13.12.2011 - Photonik 6/2011

Bei der Fertigung makroskopischer monolithischer Quarzglasprodukte mittels eines etablierten Sol-Gel-Verfahrens stellt sich die Frage, bis zu welcher minimalen Größe Oberflächenstrukturen präzise repliziert werden können, und ob die so erzeugten dreidimensionalen Strukturen zur Strahlformung geeignet wären. Die Entwicklungsergebnisse aus dem Projekt SINOMICS zeigen, dass das Sol-Gel-Verfahren tatsächlich eine Alternative zur Herstellung von Mikrostrukturen für z.B. diffraktive optische Elemente (DOE) aus synthetischem Quarzglas ist.

Photonik 6/2011
Autor(en): Michael Baer, Silicaglas Ilmenau GmbH (SGIL), Roman Kleindienst, Stefan Sinzinger, TU Ilmenau

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Diesen Fachaufsatz finden Sie auch unter der Rubrik:
Optische Komponenten

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