Fertigungstechnik

Polierfehlerkorrektur mit Ionenstrahlen in der Massenfertigung von Präzisionsoptiken

07.06.2010 - Photonik 3/2010 |  [ read in English ]

Neben den seit Langem in der Optikfertigung etablierten Verfahren des CNC-Schleifens und Polierens helfen inzwischen auch Plasma- und Ionenstrahlverfahren, durch einen definierten Materialabtrag die extremen Genauigkeitsanforderungen zu erfüllen. Mit der Polierfehlerkorrekur unter Nutzung eines verweilzeitgesteuerten Ionenstrahls (IBF–Ion Beam Figuring) lassen sich Rauheiten im Bereich von 1 nm einhalten und Formgenauigkeiten von λ/50 erzielen.

Photonik 3/2010
Autor(en): Michael Zeuner, Matthias Nestler, Roth & Rau MicroSystems GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Sven R. Kiontke, asphericon GmbH, Jena

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