Optische Messtechnik

Interferometrische Vermessung sphärischer Spiegeloberflächen mit großen Krümmungsradien

12.04.2007 - Photonik 2/2007 |  [ read in English ]

Die Interferometrie ist aufgrund ihrer hohen Präzision das maßgebliche Verfahren zur Qualitätskontrolle optischer Oberflächen. Im Vergleich zur Profilometrie liegen ihre Vorteile in der berührungslosen Messung und im Vergleich zu scannenden Verfahren in der zweidimensionalen Auflösung. Nur bei Oberflächen mit sehr großen Krümmungsradien gibt es geometriebedingte Vorteile tastender Verfahren. Dieser Bereich kann nun mit dem hier vorgestellten Verfahren ebenfalls interferometrisch abgedeckt werden.

Photonik 2/2007
Autor(en): Stephan Schneider, Daniel Rohleder, Jean-Michel Asfour, Dioptic GmbH, Weinheim

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