Fertigungstechnik

Fertigung leichtgewichtiger Spiegelträger mit geringer thermischer Ausdehnung

09.12.2004 - Photonik 6/2004

Spiegel mit reduziertem Gewicht und geringer thermischer Ausdehnung ermöglichen u.a. in der Raumfahrt, in dynamischen Systemen oder der Lithographie Anwendungen mit erheblichen Vorteilen. Im folgenden Beitrag werden innovative Prozesse zur Fertigung geeigneter leichtgewichtiger Spiegelträger vorgestellt, wobei vorzugsweise Werkstoffe verwendet werden, die über einen geringen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten a (coefficient of thermal expansion, CTE) verfügen.

Photonik 6/2004
Autor(en): Winfried Arens, Volker Schmidt, Berliner Glas KGaA, Berlin

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