Lasertechnik

3D-Strukturierung durch Laserlithographie

11.12.2008 - Photonik 6/2008

Die 3D-Laserlithographie nutzt Mehrphotonen-Absorption zur lokalen hochaufgelösten Belichtung von photosensitivem Material. Die belichteten Bereiche weisen eine andere chemische Löslichkeit auf als ihre Umgebung, so dass sich komplexe dreidimensionale Strukturen im Sub-Mikrometerbereich erzeugen lassen.

Photonik 6/2008
Autor(en): Martin Hermatschweiler, Georg von Freymann, Michael Thiel, Nanoscribe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen; Steffen Arnold, Physik Instrumente GmbH, Karlsruhe; Ellen-

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