Positionierung und Bausysteme

Nachrüstbare aktive Dämpfung niederfrequenter Schwingungen bei pneumatisch isolierten optischen Tischen

12.06.2003 - Photonik 3/2003

Hochauflösende Mess- und Produktionssysteme erfordern eine gute Isolierung gegenüber Vibrationen, um zuverlässig aussagekräftige Ergebnisse zu liefern. Obwohl pneumatische Isolierungssysteme für die meisten Anwendungen vollkommen ausreichen, können im Einzelfall Messaufbauten empfindlich auf Vibrationen im Bereich von 1-10 Hz reagieren. Da dies im vorhinein schwierig zu ermitteln ist, stellt eine nachrüstbare aktive Dämpfung zur Verbesserung der Isoliereigenschaften pneumatischer Schwingungsisolierungen im Niederfrequenzbereich eine äußerst flexible und kostengünstige Herangehensweise an diese Problematik dar.

Photonik 3/2003
Autor(en): Oliver Tiller, Newport GmbH, Darmstadt

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