Optische Messtechnik

Flexible Optikprüfung mit Nanopositionier-Messsystemen und interferometrischer Referenzierung

07.06.2010 - Photonik 3/2010

Die permanent wachsende Anwendung refraktiver und diffraktiver Optik führt häufig zum Einsatz von Komponenten mit viele cm² großen mikro- oder nanostrukturierten Flächen, wie z.B. in der Wellenfrontsensorik oder der Röntgen-Holographie. In der hochauflösenden Prüfung solcher Komponenten kann die Gesamtfläche bisher nur durch fehlerträchtiges Zusammenfügen (Stitchen) kleiner Messfelder erfasst werden. Wir zeigen im Folgenden einen universellen Lösungsansatz durch Integration verschiedener Sensoren in Nanopositioniersysteme mit Messvolumina im Kubikzentimer-Bereich.

Photonik 3/2010
Autor(en): Stephan Stürwald, Fraunhofer IPT
Robert Schmitt, Fraunhofer IPT und WZL der RWTH Aachen

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