Fertigungstechnik

Wafer-Level-Technologie für Multilagige Mikrooptikmodule

07.06.2010 - Photonik 3/2010

Die technische Miniaturisierung erfordert zunehmend den Einsatz von Mikrooptikmodulen. An die Herstellung dieser Optiken sind jedoch je nach Einsatzgebiet bestimmt Anforderungen gestellt. Eine entsprechende Technologiekette für multilagige Mikrooptikmodule sowie einige Anwendungsbeispiele werden nachfolgend beschrieben.

Photonik 3/2010
Autor(en): Andreas Bräuer, Peter Dannberg, Peter Schreiber
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena

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