Optische Messtechnik

Mikrooptisches Baukastensystem für Faseroptik und optische Messtechnik

23.04.2010 - Photonik 2/2010

Aus mikrotechnisch gefertigten Funktionsmodulen und kommerziell verfügbaren Komponenten können universell einsetzbare mikrooptische Systeme aufgebaut werden. Dabei erlaubt eine automatisierte Montage der optischen Komponenten in präzise Haltestrukturen, die sich mittels LIGA-Technik herstellen und kostengünstig replizieren lassen, einen sehr vielseitigen hybrid integrierten Aufbau. Die so erzeugten, über Mikroaktoren durchstimmbaren Messsysteme mit flexiblem Schnittstellenkonzept sind selbst für den Einsatz in Nischenmärkten attraktiv.

Photonik 2/2010
Autor(en): Sven Schüle, Stefan Hengsbach, Uwe Hollenbach, Jürgen Mohr, KIT, Institut für Mikrostrukturtechnik, Eggenstein-Leopoldshafen

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