Coatings

Magnetron-gesputterte Notchfilter

09.06.2009

In der Fluoreszenzanalyse oder z.B. beim Einsatz von Lasern in medizinischen Instrumenten blocken Notchfilter sehr schmale Wellenlängenbereiche, typisch mit OD5, bei gleichzeitig hoher Transmission im übrigen Spektralbereich. Der Abstand zwischen Pass- und Blockbereichen ist meist <0,02 λ. Derartige Interferenzfilter konnten bisher nur mittels Ionenstrahlsputtern gefertigt werden. Durch plasmagestütztes Magnetronsputtern können jetzt Notchfilter mit deutlich höheren Abscheideraten hergestellt werden.

Photonik 3/2009
Company: mso jena Mikroschichtoptik GmbH

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