Optische Messtechnik

Präzisions-Messinterferometer

12.04.2012

Die Miniatur-Interferometer der Serie MI, die z.B. an der PTB Braunschweig kalibriert werden können, erreichen mit einem stabilisierten HeNe-Laser 0,1 nm Ortsauflösung bei Abständen bis 5 m. Die relativen Messabweichungen liegen bei 1...2 x 10^-7. Um den Vor-Ort-Einsatz zu erleichtern, wurde die Versorgungs- und Auswerteeinheit in ihren Abmessungen minimiert und ein Koffer für den komfortablen Transport angepasst. Der fasergekoppelte, wärmequellenfreie Sensorkopf ist in verschiedenen Ausführungen erhältlich und unempfindlich gegenüber em-Feldern. Die Bedienung erfolgt am Bildschirm oder via PC mit Kalibriersoftware. Anwendungen sind die präzise Abstands- und Winkelbestimmung in Mikroskop- und Messtischen, Werkzeugmaschinen und Positioniereinrichtungen, deren Kalibrierung sowie der Einsatz in F&E.

Photonik 2/2012
Firma: Sios Meßtechnik GmbH

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