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Tributes & Awards
Forschungspreis für EUV-Systeme
14.02.2008
Für ihre Arbeiten zur Entwicklung von Komponenten und Systemen für die EUV-Lithographie bei 13,5nm wurden Dr. Torsten Feigl, Sergiy Yulin, Dr. Uwe Zeitner, Dr. Thomas Peschel, Sven Schröder, Christoph Damm und Tino Benkenstein vom Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF), Jena, mit dem Thüringer Forschungspreis im Bereich Angewandte Forschung ausgezeichnet. Im Bereich Grundlagenforschung wurden zwei Projekte aus den Lebenswissenschaften geehrt.
Der Forschungspreis ist mit insgesamt 21000€ dotiert und wurde am 14. Februar in Jena verliehen. Mit diesem Preis zeichnet der Freistaat seit 1995 in Thüringen tätige Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler für herausragende Forschungs- und Entwicklungsleistungen aus.
Photonik 1/2008
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