Anwendungsberichte

Universitärer Einsatz der Laserscanning-Mikroskopie

13.12.2011 - Photonik 6/2011

Das Institut für Physikalische Elektronik der Universität Stuttgart (IPE) arbeitet in der Mikro- und Optoelektronik, Dünnschicht- und Halbleitertechnik. Die Photovoltaik-Forschung am IPE konzentriert sich auf fertigungsnahe Verfahren für Silizium-Solarzellen. Dabei reicht die Bandbreite der Forschungsthemen von hocheffizienten einkristallinen Si-Zellen über Siebdruckprozesse für multikristalline Zellen bis zu flexiblen Modulen auf der Basis von amorphem und mikro- bis nanokristallinem Silizium.
Das IPE verfügt über ein Laserscanningmikroskop VK 9700 von Keyence für die Halbleiter- und Materialanalytik insbesondere an dünnen Schichten. Im Rahmen der Forschung an Solarzellen untersuchen die Wissenschaftler damit z.B. Tiefenprofile von ZnO-Antireflexschichten, laserstrukturierte selektive Emitter, nanoskalige Dotierungs-Precursor-Schichten, Laser-Transfer-Kontakte von Metall-Saatschichten für ultrafeine vorderseitige Stromsammelgitter, Siebdruck-Stromsammelgitter, Laser-Kantenisolierungen, Laser-gefeuerte Rückseitenkontakte etc.
In der Vergangenheit wurde für Oberflächenanalysen am IPE neben einem Weißlicht-Interferometer ein REM verwendet, das allerdings komplex und anfällig für Fehlbedienungen weniger erfahrener Studenten ist. Das Arbeiten mit dem VK-9700 ist trotz hoher Genauigkeit viel einfacher. Rohdaten können auch unabhängig vom Mikroskop an einem separaten Arbeitsplatz bearbeitet werden, was eine hohe Nutzungsmöglichkeit für viele Studenten erlaubt...

Photonik 6/2011
Autor(en): Keyence Deutschland GmbH, Neu-Isenburg

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