Inkohärente Lichtquellen

Eine kompakte breitbandige Laserplasma-EUV-Quelle für messtechnische Anwendungen

12.02.2009 - Photonik 1/2009 |  [ read in English ]

Für den Einsatz in der Messtechnik werden kompakte Quellen gebraucht, die breitbandige EUV-Strahlung kostengünstig erzeugen. Die Kombination eines kleinen diodengepumpten Nd:YAG-Laser mit einem zylindrischen Gold-Target erfüllt die Aufgabe, und emittiert brillant, räumlich stabil und ohne Nachteile durch Debris-Ablagerungen.

Photonik 1/2009
Autor(en): Lothar Koch, Bernd Wellegehausen, Leibniz Universität Hannover

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