Bilderfassung und -verarbeitung

Thin-Film-on-CMOS - verbesserte Bildsensoren für spezielle Anwendungen

16.10.2007 - Photonik 5/2007 |  [ read in English ]

Als Zusatzprozess zur Standard-CMOS-Fertigung auf Siliziumwafern erlaubt die TFC-Technologie die Herstellung vertikal integrierter Bildsensoren mit hohem Füllfaktor und speziell angepassten Sensoreigenschaften. CMOS-Sensoren mit amorphen Siliziumphotodioden, ihre Vorteile und Eigenschaften sowie einige Anwendungsbeispiele werden vorgestellt und erläutert.

Photonik 5/2007
Autor(en): Christine Harendt, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS Chips)

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