Optische Komponenten

Linsen und Objektive zum Laserscannen

16.10.2007 - Photonik 5/2007 |  [ read in English ]

In Laserscansystemen mit Galvanometer- oder rotierenden Polygonspiegeln kann durch den Einsatz spezieller F-Thetalinsen die Nichtlinearität von Spotweg und Ablenkwinkel korrigiert und ein ebenes Bildfeld erzeugt werden. Dazu wird anstelle elektronischer Korrekturen bewusst eine tonnenförmige Verzeichnung in das System gerechnet. Währende F-Theta-Objektive bei den meisten Markier- und Photoresist-Anwendungen eingesetzt werden, finden telezentrische F-Theta-Objektive in Schneid- und Bohrapplikationen Verwendung.

Photonik 5/2007
Autor(en): Bryce Furlong, Sherie Motakef, CVI Melles Griot, Carlsbad, CA, USA

Download PDF-Dokument