Positionierung und Bausysteme

Parallelkinematischer Hexapod

16.08.2010

Der F-206.S HexAlign ist ein 6-Achsen-Mikrostellsystem für komplexe Justageaufgaben auf Basis einer hochauflösenden Hexapod-Parallelkinematik. Anders als klassische Hexapoden mit variabler Beinlänge besitzt er Streben konstanter Länge, Biegeführungen und keine bewegten Kabel. Damit erreicht er 33 nm Auflösung und 300 nm Wiederholbarkeit. Er ist kleiner, steifer, dynamischer und genauer als vergleichbare Systeme mit 6 seriell gestapelten Achsen. Der frei definierbare virtuelle Pivotpunkt bleibt unabhängig von der Bewegung erhalten. Der Hexapod wird mit einer digitalen 6D-Steuerung geliefert, deren offene Software-Architektur und umfangreicher Befehlssatz u.a. die Ausführung von Makroprogrammen und den selbständigen Betrieb mit Monitor und Tatatur erlauben. Optional ist die automatische optische Justage über in- oder externe Photometer.

Photonik 4/2010
Firma: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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