Nanotechnik

Nanodraht-Arrays aus Kupfer durch selbstorganisierte galvanische Abscheidung

14.02.2008 - Nanotechnik 1/2008

In der Mikroelektronik besteht zunehmender Bedarf an Herstellungsverfahren für nanoskalige Leiterbahnen. Dabei spielen insbesondere bei der Chipfertigung elektrochemische Prozesse eine zentrale Rolle. Durch das hier vorgestellte Verfahren können durch Selbstorganisation elektrochemisch ausgedehnte Arrays von Nanodrähten hergestellt werden.

Photonik 1/2008
Firma: Sheng Zhong, Thomas Koch, et al., Forschungszentrum Karlsruhe; Mu Wang, Universität Nanjing, China; Thomas Schimmel, Universität Karlsruhe

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Eine Publikation der AT-Fachverlag GmbH