Positionierung und Bausysteme

Aktive Dämpfung optischer Tische

11.02.2010 - Photonik 1/2010

Neue Messverfahren mit zunehmender Auflösung z.B. in der Nanotechnik, Interferometrie und konfokalen Mikroskopie reagieren immer empfindlicher auf Positionsinstabilitäten. Dies erfordert schwingungsisolierte optische Tische mit wirksamer Dämpfung von Resonanzen. Im Folgenden diskutieren wir aktive Dämpfungsverfahren und verdeutlichen den Einfluss auf die Messergebnisse.

Photonik 1/2010
Autor(en): Oliver Tiller, Newport Spectra-Physics GmbH, Darmstadt

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